聯華林德透過與林德集團的密切合作,能夠提供各種高品質的電子級特殊氣體和氣體應用技術。除此之外,為了因應市場的快速成長,聯華林德也投入鉅資於高效能的特殊氣體生產設備。
電子材料事業的專業
安全
- 最即時的緊急應變能力(HIRT)
- 實踐全球最高標準的安全規範
員工
- 專業人員投入於電子材料管理與生產
品質
- 確保提供最高品質的客製化產品
產品
- 20種自有產品
- 超過70種產品清單
- 策略性的夥伴關係
技術
- ERDC先進分析能力及新產品開發
- 與客戶共同研發合作
ESG在地化生產
- 桃園觀音的桃科廠建置
- 持續擴充中港廠的生產投資
- 中國NH3, N2O 和HBr的生產
聯華林德佈局投資
台灣領先的電子氣體製造商
- 聯華林德北部觀音工廠
- 聯華林德中部中港工廠
- 聯華林德南部大發工廠
中國境內領先的電子特氣工廠
- 聯華林德天津產線
- 聯華林德鎮江工廠
- 聯華林德廈門工廠
- 林德蘇州工廠
產品清單
Deposition(沉積)/ Thin film(薄膜)
Argon (Ar) |
Helium (He) |
Hydrogen (H2)* |
Nitrogen (N2)* |
Mixtures (Calibration etc) |
Hexachlorodisilane (HCDS) |
Octafluorocyclobutane (C4F8) |
Nitrogen trifluoride (NF3) |
Nitrous oxide (N2O) |
1% / 10% Germane mixture (GeH4 / H2) |
Ammonia (NH3) |
Dichlorosilane (SiH2Cl2) |
Disilane (Si2H6) |
Germane (GeH4) |
Hexachlorodisilane (Si2Cl6) |
Silane (SiH4) |
Trichlorosilane (SiHCl3) |
Etch(蝕刻)
Argon (Ar) |
Helium (He) |
Hydrogen (H2)* |
Nitrogen (N2)* |
Mixtures (Calibration etc) |
Otafluorocyclobutane (C4F8) |
Hydrogen Bromide (HBr) |
Carbonmonoxide (CO) |
Carbondioxide (CO2) |
Tetrafluromethane (CF4) |
Sulfuehexafluroide (SF6) |
Boron trichloride (BCl3) |
Carbon monoxide (CO) |
Chlorine trifluoride (ClF3) |
Halocarbon 116 (C2F6) |
Halocarbon 218 (C3F28) |
Halocarbon 41 (CHF3) |
Hydrogen bromide (HBr) |
Hydrogen Fluoride (HF) |
Silicon tetrafluoride (SiF4) |
Xenon difluoride (XeF2) |
Doping(摻雜)/ Diffusion(擴散)
Argon (Ar) |
Helium (He) |
Hydrogen (H2)* |
Nitrogen (N2)* |
Mixtures (Calibration etc) |
20% F2 / N2 mixture | Hexachlorodisilane (HCDS) |
Carbondioxide (CO2) |
Arsine (AsH3) |
Germane (GeH4) |
Phosphine (PH3) |
Laser gas
Helium (He) |
Hydrogen (H2)* |
Nitrogen (N2)* |
Mixtures (Calibration etc) |
Carbondioxide (CO2) |
Ar / F2 / Ne (Argon / Fluorine / Neon - ArF laser) |
Kr / F2 / Ne (Krypton / Fluorine / Neon – KrF laser) |
Ar / Xe / Ne (Argon / Xenon / Neon Mixture) |
Kr / Ne (Krypton / Neon Mixture) |
Ne (Neon) |
Xe (Xenon) |